Duyarlılık: Ölçme cihazı tepkisindeki değişimin, uyarımda ona karşılık gelen değişime oranı.

Not: Duyarlılık, uyarımın değerine bağlı olabilir.

Gösterge Elemanının Çözünürlülük(ü): Bir gösterge elemanının, gösterdiği büyülüğün birbirine çok yakın ardıl değerleri arasında anlamlı bir ayrım yapabilmesi kabiliyetinin nicel ifadesi.

Ölü Bölge: Ölçme cihazının tepkisinde bir değişim yaratmadan uyarımın değiştirilebildiği sıha.

Histerezis: Ölçme cihazının belirli bir uyarıma olan tepkisinin o uyarımı önceleyen ve birbirini takip eden uyarımların sıralanışına bağlı olma özelliği.

Not: Histerezis her ne kadar normal olarak ölçülen büyüklükle ilişkili olarak ele alınıyorsa da etki büyüklüğüyle de ilgili olarak ele alınabilir.

Kararlılık: Ölçme cihazının kendi metrolojik özelliklerini sabit tutabilme yeteneği.

Not: Çoğunlukla zamana göre kararlılık ele alınmıştır. Bir başka büyüklüğe göre kararlılık ele alındığında bu durum açıkça belirtilmelidir.

Kayma: Ölçme cihazının metrolojik özelliklerinin zaman içindeki yavaş değişimi.

Tepki Süresi: Uyarımın belirli bir ani değişime tabi tolduğu an ile tepkinin kendi son kararlı değerine ulaştığı ve bu değerin belirli sınırlar içinde kaldığı an arasında geçen süre.

Ölçme Cihazının Tekrarlanabilirlik(i): Ölçme cihazının belirli kullanma koşulları altında, aynı uyarımın tekrarlı tatbikatları için oldukça yakın tepkiler verme kabiliyeti.

Not: Belirlenen kullanma koşulları genelde aşağıdaki gibidir;

• Kısa zaman aralığında tekrar;
• Sabit çevre koşulları altında aynı konumda kullanım;
• Gözlemciden kaynaklanan hataların minumuma indirgenmesi.